市場消息：上海愛晟納主導國產浸沒式DUV光刻機研發 惟效能仍與ASML存差距

市場消息指出，上海愛晟納電子科技集團目前正主導中國國產浸沒式深紫外（DUV）光刻機的生產。DUV光刻機作為半導體製造的關鍵核心設備，其研發進度一直備受業界關注，尤其是在全球晶片供應鏈自主化的背景下，中國積極推動半導體設備國產化。 然而，據消息人士透露，由上海愛晟納電子科技集團開發的DUV光刻機，預計還需要進行進一步的測試與驗證。儘管中國在半導體設備領域投入大量資源，但其技術成熟度與性能，與全球光刻機龍頭ASML的同類產品相比，據悉「仍有較大差距」。業界分析普遍認為，這反映出國產高端半導體設備的發展仍面臨不少挑戰。