佳能開始銷售納米壓印半導體製造設備

以製造攝影機及影印機而聞名的日本佳能（Canon）宣布，開始銷售納米壓印（Nanoimprint lithography）半導體製造設備，試圖與荷蘭光刻機巨頭ASML的極紫外光（EUV）光刻機競爭。納米壓印是光學光刻的低成本替代方案，曾獲記憶體製造商SK 海力士及東芝推廣。相關器材繞過傳統的光刻技術，直接將電路圖案壓印於晶圓。前名為東芝記憶體的Kioxia，曾測試佳能的納米壓印機，確認已達到商業成熟程度。/n佳能於2014年收購納米壓印先驅Molecular Imprints，並長期研究相關技術。佳能表示，其晶片製造設備可生產相當於5納米製程的電路。佳能預計，其設備透過改良，將可達到2納米製程的水平。目前ASML的EUV光刻機，是製造5納米或以下製程晶片的唯一可靠方法，被美國禁止出口中國。佳能的技術或為中美貿易戰增添新戰線。