美國太空探索公司SpaceX及電動車巨擘特斯拉(Tesla)近期宣佈，將初步投資168億美元，於美國得州合力興建Terafab晶片生產設施。市場消息指，SpaceX創辦人馬斯克(Elon Musk)旗下的這項新舉動，或預示他有意採用「自由電子激光器」(Free Electron Laser, FEL)技術路線，藉此挑戰荷蘭光刻機巨頭艾司摩爾(ASML)在「激光產生等離子體」(Laser-Produced Plasma, LPP)極紫外光(EUV)光源方面的壟斷，意圖顛覆傳統EUV晶片生產技術。
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